集成化多功能传感器待步步向前

  随着传感器及微加工技术的发展，人们可以在同一衬底材料上制作几种敏感元器件，制成能够检测多个参量的集成化多功能传感器。多功能传感器主要有以下几种不同的工作原理及结构形式：

  几种不同的敏感元器件制作在同一个硅片上，制成集成化多功能传感器，该种传感器集成度高、体积小，各个敏感元器件的工作氛围相同，容易实现补偿和校正，这是多功能传感器发展的一个方向；

  几种不问的敏感元器件组合在一起形成一个传感器，可以同时测量几个参数，各敏感元器件是独立的，如将测量温度和测量湿度敏感元件组合在一起构成温湿度多功能传感器；

  用同一个敏感元器件的不同效应，得到不同的信息，如将线圈作为敏感元件，在具有不同磁导率或介电常数物质的作用下，表现出不同的电容和电感。

  同一个敏感元件在不同激励下表现出不同特性，例如传感器施加不同的激励电压、电流，在不同温度下，其特性不同，有时可相窜于几个不同的传感器。有的多功能传感器检测出的几个信息混在一起，需要用信号处理的方法将各种信息进行分离。

  就近些年看来，多功能集成化传感器研究受到国内外的广泛关注，国内外文献报道，已经有用于环境监测、化学分析、生物保护等方面的集成传感器。随着MEMS技术和比技术的不断发展，实现传感器的集成化、多功能化成为可能。